臨沂經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)于2003年6月啟動(dòng)建設(shè),籌建面積為122平方公里,轄芝麻墩、梅家埠兩個(gè)鎮(zhèn)(現(xiàn)芝麻墩街道、梅家埠街道)。2008年,河?xùn)|區(qū)重溝鎮(zhèn)(現(xiàn)朝陽街道)劃歸開發(fā)區(qū),面積達(dá)到182平方公里。2010年12月升級為國家級經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)。2011年8月,臨沭縣原醋莊鄉(xiāng)劃歸開發(fā)區(qū),面積達(dá)到223平方公里。2019年12月,按照全市開發(fā)區(qū)體制機(jī)制改革試點(diǎn)要求,芝麻墩、梅家埠、朝陽3個(gè)街道整建制劃歸河?xùn)|區(qū)管理,開發(fā)區(qū)管轄面積調(diào)整為153平方公里,同時(shí)對河?xùn)|經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)進(jìn)行托管,實(shí)際管轄面積195平方公里。