近日，位于無(wú)錫經(jīng)開(kāi)區(qū)的研微（江蘇）半導(dǎo)體科技有限公司自主研發(fā)的Perfectus-A系列首臺(tái)硅外延（Si Epi）設(shè)備正式交付國(guó)內(nèi)硅材料行業(yè)頭部企業(yè)。
硅外延類(lèi)設(shè)備此前被國(guó)外企業(yè)長(zhǎng)期壟斷。作為半導(dǎo)體材料制備的核心環(huán)節(jié)，外延工藝會(huì)直接影響外延片質(zhì)量與芯片性能。研微半導(dǎo)體創(chuàng)始人兼董事長(zhǎng)林興介紹，公司從源頭設(shè)計(jì)端發(fā)力，優(yōu)化設(shè)備的核心零部件反應(yīng)腔，其生產(chǎn)的高質(zhì)量外延片不僅顯著提升晶圓表面質(zhì)量，更增強(qiáng)了外延材料在先進(jìn)制程中的可靠性。據(jù)了解，此次交付后，研微半導(dǎo)體正式實(shí)現(xiàn)全系產(chǎn)品批量出貨，成為國(guó)內(nèi)極少數(shù)在沉積與外延兩大關(guān)鍵技術(shù)平臺(tái)逐步實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的設(shè)備企業(yè)之一。
研微半導(dǎo)體的快速成長(zhǎng)，離不開(kāi)地方政府在資金、政策與產(chǎn)業(yè)生態(tài)等方面的持續(xù)賦能?！霸跓o(wú)錫創(chuàng)業(yè)如魚(yú)得水。”林興感慨道，企業(yè)創(chuàng)立初期，無(wú)錫經(jīng)開(kāi)區(qū)便為其爭(zhēng)取到超5000萬(wàn)元“耐心資本”支持，助力企業(yè)平穩(wěn)度過(guò)早期研發(fā)與積累階段。同時(shí)，無(wú)錫經(jīng)開(kāi)區(qū)在集成電路產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的深厚積淀，也讓研微半導(dǎo)體受益匪淺，太湖灣信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)園現(xiàn)已集聚生態(tài)圈企業(yè)70余家。這種“上下樓即上下游”的產(chǎn)業(yè)環(huán)境，大幅降低了溝通成本，有效提升了生產(chǎn)效率。此外，江南大學(xué)集成電路學(xué)院與東南大學(xué)集成電路學(xué)院也為企業(yè)輸送了大量“新鮮血液”?！拔覀円雅c這些高校共建校外實(shí)習(xí)基地，目前還在推進(jìn)博士后流動(dòng)站申請(qǐng)工作?！绷峙d說(shuō)。
