近日,位于無錫高新區(qū)的無錫卓??萍脊煞萦邢薰緦崿F(xiàn)了自主研發(fā)的第100臺半導(dǎo)體量檢測設(shè)備下線,裝車發(fā)往一家芯片制造企業(yè)。
無錫卓??萍脊煞萦邢薰境闪⒂?009年,是一家專注于半導(dǎo)體前道量檢測設(shè)備研發(fā)和生產(chǎn)的國家級專精特新“小巨人”企業(yè)。數(shù)據(jù)顯示,2020年至2024年,該公司秉承“修研并舉,雙線發(fā)展”的發(fā)展模式,營收從數(shù)千萬元增長至4.65億元?;仡檹摹?”到“100”的研發(fā)之路,卓??萍家晃缓诵难邪l(fā)人員不禁感慨:“5年來,我們的研發(fā)團(tuán)隊從初始創(chuàng)立,發(fā)展到如今數(shù)十人的規(guī)模,完成了應(yīng)力測量設(shè)備、方塊電阻測量設(shè)備、反射光譜膜厚測量儀、無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備、探針式表面輪廓儀等設(shè)備的自主研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。此次第100臺自研設(shè)備的下線,展現(xiàn)了卓??萍荚诟叨税雽?dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)實力和創(chuàng)新底氣?!?/p>
據(jù)介紹,半導(dǎo)體量檢測設(shè)備被稱作保障芯片良品率的“質(zhì)量閘門”,其技術(shù)水平直接決定半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制能力,也是衡量半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自主化程度的關(guān)鍵指標(biāo)之一。根據(jù)權(quán)威數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2024年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到143.5億美元,在制造設(shè)備中占比約13%。半導(dǎo)體制造工藝向更先進(jìn)制程邁進(jìn),直接推動了制造過程中檢測設(shè)備與量測設(shè)備的技術(shù)升級和市場需求的持續(xù)增長。