麗水，是習近平總書記“綠水青山就是金山銀山”理念的重要萌發(fā)地和先行實踐地，是浙江乃至華東地區(qū)重要的生態(tài)屏障和生態(tài)文明建設示范區(qū)，生態(tài)環(huán)境指數(shù)連續(xù)19年位居全省第一，森林覆蓋率高達81.7%，被譽為“浙江綠谷”。
“九山半水半分田”的麗水，提出加快建設以“生態(tài)經濟化、經濟生態(tài)化”為基本特征的現(xiàn)代化生態(tài)經濟體系，工業(yè)經濟基礎卻相對薄弱，傳統(tǒng)產業(yè)面臨著轉型挑戰(zhàn)，新的增長點亟待培育。戰(zhàn)略性新興產業(yè)是培育未來新動能、贏得競爭新優(yōu)勢的關鍵所在。在此背景下，麗水經濟技術開發(fā)區(qū)大膽創(chuàng)新、積極求變，搶抓半導體產業(yè)發(fā)展“窗口”機遇，“無中生有”布局半導體全鏈條產業(yè)。短短四年時間，一個代表著中國半導體材料前沿方向的“萬畝千億”新產業(yè)平臺，在綠水青山之間拔地而起。
2023年2月，浙江省委書記易煉紅深入麗水經開區(qū)調研指導工作時指出：“麗水經開區(qū)半導體產業(yè)園的發(fā)展充分證明，只要鉚定‘從無到有’的開拓進取精神，革命老區(qū)也能集聚和打造世界一流企業(yè)。”半導體產業(yè)從無到有，產業(yè)規(guī)模從小到大，是什么讓麗水許下“萬畝千億”的夢想？又是什么讓夢想一步步靠近現(xiàn)實，變得清晰可及？步入新發(fā)展階段，又該如何向高質量、可持續(xù)邁進？
從“0”到“1”，開辟“麗水芯路”
近年來，隨著中美貿易戰(zhàn)加劇，美國對中國半導體產業(yè)不斷制裁和打壓，使得長期依賴進口的中國半導體行業(yè)面臨的“缺芯”問題越發(fā)突出。突破“卡脖子”關鍵核心技術，逐步實現(xiàn)國產替代，成為時代最強音。
2018年8月，麗水市委、市政府提出“生態(tài)是麗水最大優(yōu)勢、發(fā)展是麗水最重的任務”，要求“發(fā)展階段不可逾越、發(fā)展階梯可以跨越”“改變產業(yè)結構、重塑產業(yè)體系”，要“搶抓新一輪科技和產業(yè)革命機遇培育發(fā)展新動能”，培育“新技術、新產業(yè)、新業(yè)態(tài)、新模式”，“山區(qū)也能搞創(chuàng)新，山區(qū)跨越式高質量發(fā)展更須搞創(chuàng)新”……這是麗水在新階段，對于搶抓戰(zhàn)略機遇、堅定發(fā)展轉型的深刻認識與自省。
在“外部形勢日趨嚴峻”和“內部產業(yè)亟待轉型”雙重因素的疊加影響下，半導體產業(yè)進入了麗水的視野。2019年，麗水作出發(fā)展半導體產業(yè)的重大決策，以麗水經開區(qū)為主平臺“無中生有”布局半導體全鏈條產業(yè)。
從“0”到“1”絕不是一件容易的事。沒有基礎、沒有參考、沒有模版，麗水經開區(qū)如何快速破題？迎難而上，是經開區(qū)的魄力，也是麗水的底氣。在麗水經開區(qū)黨工委書記、管委會主任劉志偉看來，麗水發(fā)展半導體產業(yè)并非無源之水、無本之木。麗水發(fā)展半導體產業(yè)的優(yōu)勢有兩點：從發(fā)展背景來看，當前國內長三角地區(qū)已經具有較好的半導體產業(yè)集群基礎，可以直接輻射到麗水。從產業(yè)發(fā)展要求來看，半導體生產制造過程需要非常清潔的環(huán)境，這也是國外半導體企業(yè)大多位于生態(tài)優(yōu)美地區(qū)的原因之一。這對于“秀山麗水”來說恰恰是一個再好不過的機會。
是否有其他細分領域，既能夠讓麗水被長三角半導體產業(yè)發(fā)展輻射，又能發(fā)揮比較優(yōu)勢在細分領域找到一席之地？為了“選準賽道”，麗水經開區(qū)一方面跑遍全國各地學習取經；另一方面與中科院半導體研究所、第三代半導體產業(yè)技術創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟、浙江大學、復旦大學等國內頂尖的技術團隊和科研院所反復對接，尋求良策。
時值全省各地都在瞄準新興產業(yè)、未來產業(yè)，聚力打造“萬畝千億”新產業(yè)平臺，在充分考慮麗水的資源稟賦、區(qū)位優(yōu)勢、產業(yè)基礎以及區(qū)域分工協(xié)作等因素后，麗水經開區(qū)明確了差異化發(fā)展的路線：以打造特色半導體“萬畝千億”新產業(yè)平臺為抓手，形成一條以硅基材料為主的功率器件半導體產業(yè)鏈。
心中有方向，腳下有力量。經開區(qū)通過“雙招雙引”戰(zhàn)略性先導工程，精準招引項目。玨芯微電子是一家集研發(fā)、設計、生產、封裝、測試及應用等為一體的光電探測器和特種芯片晶圓制造企業(yè)，是典型的“小而專、小而全”企業(yè)。如今玨芯的“高溫制冷紅外探測器”已經成為國內該領域的一張王牌。然而就在四年前，玨芯微電子的落地經歷“一波三折”，通過專業(yè)機構分析鑒定：“項目技術含量高，成敗的關鍵在核心人才團隊”。有了這份“權威建議”，玨芯微電子快速集結6名國內半導體領域前沿專家，經開區(qū)采用“政府引導+市場化運作模式”，最終促成了項目的落地，變不可能為可能，拉開了麗水崛“芯”之路的序幕。
2019年6月，玨芯微電子正式入駐麗水經開區(qū)，之后僅用了10個月的時間便產出成果。2023年3月，玨芯憑借“高溫制冷紅外芯片及探測器技術”獲得了由國家科技部主辦的“全國顛覆性技術創(chuàng)新大賽”最高獎，實現(xiàn)了麗水市在全國唯一顛覆性技術專業(yè)領域“歷史性重大突破”。
麗水經開區(qū)在第一時間全面復盤，總結“基金招商+投貸聯(lián)動”的經驗，一方面，迅速建設麗水芯片產業(yè)園，科學規(guī)劃精準招引，另一方面，更加深刻地體會到以國內半導體產業(yè)權威機構為代表的“最強大腦”對半導體產業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略意義。經開區(qū)未來要打造高能級產業(yè)園必然離不開高能級科研院所、創(chuàng)新平臺與科研人才的集聚。
令人振奮的是，麗水市政府聘任中國科學院院士、紅外物理學家、半導體物理和器件專家、復旦大學光電研究院院長褚君浩院士為半導體全鏈條產業(yè)首席科學家，在麗水經開區(qū)設立“院士工作站”。
四年來，經開區(qū)先后引進了中國科學院院士、研究員、副研究員、高級工程師等一大批高層次人才，四年間新增博士及以上高層次人才793人，半導體產業(yè)專家?guī)焓珍浉邔哟螌＜?8人，已經初步形成了由中科院、高校、科研單位等組成的科研力量，為麗水特色半導體“萬畝千億”新產業(yè)平臺提供了強有力的智力支持。
百舸爭流千帆競，勇立潮頭敢為先。站在新的產業(yè)機遇期，麗水經開區(qū)主動轉變觀念，“白手起家”謀劃新的增長，“騰籠換鳥”立足新的起點，“二次創(chuàng)業(yè)”開啟新的征程。所有人都在拭目以待，在這片秀山麗水的“萬畝”土地上，特色半導體產業(yè)最終將成長為什么模樣。
從“1”到“N”，逐夢“萬畝千億”
從0到1的歷史性突破，給予了經開區(qū)發(fā)展半導體產業(yè)極大的信心。但對于產業(yè)鏈如何打造？走什么樣的產業(yè)發(fā)展模式？“萬畝”土地如何生出“千億”產值？這些都是經開區(qū)要應對的問題。
對此，褚君浩院士認為，在麗水形成一條半導體產業(yè)鏈生態(tài)鏈不能簡單模仿，而是要在不斷學習和實踐探索中找到符合麗水實際的半導體產業(yè)發(fā)展之路。經過不斷探索實踐，麗水經開區(qū)給出了“麗水方案”——“Smart IDM”模式。
一般而言，傳統(tǒng)的IDM模式半導體產業(yè)是集芯片設計、制造、封裝、測試等多產業(yè)環(huán)節(jié)于一體，一家公司就擁有半導體全流程生產能力。但在傳統(tǒng)的IDM模式下，僅僅是引進一家企業(yè)就需要上百億的資金作為支撐，這對于還處在發(fā)展初期的經開區(qū)來說，顯然不適用。
麗水首創(chuàng)的“Smart IDM”模式，即在一定區(qū)域范圍內，引入芯片設計、制造、封裝、測試等各個環(huán)節(jié)獨立的市場主體。該模式既解決了麗水資金支撐難的困境，又將傳統(tǒng)功率半導體產業(yè)發(fā)展模式的優(yōu)勢合為一體。在政府的引導下，產業(yè)鏈上下游公司作為關聯(lián)又獨立的主體，既相互協(xié)作，在經開區(qū)內形成產業(yè)集聚。同時，又擁有各自獨立優(yōu)勢，保持獨立運營、自主開發(fā)產品、接受市場競爭，更具靈活性。
2020年5月，總投資55億元的8-12英寸電子級半導體材料（晶圓片外延片）項目晶睿電子落地經開區(qū)，開工7個月就實現(xiàn)投產。被經開區(qū)的營商環(huán)境所打動，晶睿電子“轉換角色、以商招商”引薦廣芯微、芯微泰克等“兄弟”企業(yè)，又吸引了上海正帆特氣等關聯(lián)項目“接二連三、結伴組團”落地，麗水經開區(qū)“Smart IDM”模式初步成型。
不過，取得初步成績的麗水經開區(qū)并沒有停止腳步，決心招引一批技術國內領先、比肩世界的好項目落地，將目標瞄準了國家戰(zhàn)略性金屬材料“鉭”。麗水經開區(qū)巧借“麗水寧波山海協(xié)作”的機遇，多次邀請寧波江豐電子材料股份有限公司董事長姚力軍到麗考察，切身感受麗水“重科技引人才的力度之大、措施之實、心意之誠”。2020年6月，姚力軍決定把“超大規(guī)模集成電路制造用超高純鉭項目”落地麗水，設立同創(chuàng)（麗水）特種材料有限公司，僅用了8個月的時間，實現(xiàn)了“當年建設，當年投產”，實現(xiàn)了全球最前端5nm技術節(jié)點高純鉭靶材的量產，滿產后可年產超過400噸的超高純鉭錠，產量有望達到世界第一。
在中國半導體行業(yè)協(xié)會集成電路分會理事長、國家科技重大專項02專項技術總師葉甜春看來，麗水的“鉭”項目不僅解決了鉭制造“卡脖子”問題，結束了長期依賴進口的局面，而且是制衡全球鉭材料產業(yè)的“殺手锏”項目，具有戰(zhàn)略意義。屆時，麗水將成為世界級的超高純鉭靶材生產基地，成為中國集成電路制造用靶材發(fā)展史上新的里程碑。
浙江麗水中欣晶圓半導體科技有限公司
此外，麗水經開區(qū)還將目光投向了半導體行業(yè)頭部企業(yè)。國內能獨立完成從12英寸單晶、拋光，到外延研發(fā)、生產的“全能型企業(yè)”中欣晶圓就是其中之一。“在秀山麗水之間照樣能辦好國際化的高新技術企業(yè)?！敝行谰A董事長賀賢漢感慨地說，打動他的是麗水對半導體產業(yè)的科學規(guī)劃和精準定位，是麗水對戰(zhàn)略性新興產業(yè)和未來產業(yè)的深刻認識和深遠謀劃，也是麗水對企業(yè)、對項目的務實高效服務，中欣晶圓公司把麗水打造成中國外延之都。2021年11月，開工不到一年，中欣晶圓廠房提前一個月實現(xiàn)竣工。
富樂德半導體項目效果圖
麗水“獨特的生態(tài)環(huán)境和良好營商環(huán)境”的疊加效應，讓中欣晶圓多次選擇麗水，把總投資120億元的富樂德半導體項目落到麗水，還布局了半導體材料、傳感器等配套項目，和麗水技師學院開展聯(lián)合辦學，共同成立了國內首家半導體工匠學院，實行校方和企業(yè)共同協(xié)力培養(yǎng)半導體“產業(yè)工匠”的“雙主體”培養(yǎng)模式。
旺榮半導體8英寸功率器件項目
如果說頭部企業(yè)落地是麗水半導體產業(yè)發(fā)展的“助推器”，那么百億級項目、細分領域領軍型企業(yè)則是麗水特色半導體產業(yè)可持續(xù)發(fā)展的“壓艙石”。麗水首個百億級制造業(yè)項目——東旭高端光電半導體材料項目，運用了國內光電半導體材料生產中最先進的“國家科技進步獎、中國專利金獎”等技術工藝，2022年6月開工10月試生產。
麗水首個通過國家發(fā)改委窗口指導項目——旺榮半導體8英寸功率器件項目，總投資50億元，彌補我國8英寸功率半導體芯片供應缺口問題，今年8月投產。麗水首個高端特色硅基晶圓代工項目——廣芯微電子年產120萬片6英寸高端特色硅基晶圓代工項目，僅用145天實現(xiàn)通線試產，目前已經投入試生產。
短短四年間，麗水經開區(qū)以從“0”到“1”為基礎，創(chuàng)新“鏈長+院長+校長+行長”協(xié)同機制，探索特色半導體產業(yè)鏈現(xiàn)代化治理體系改革。由黨工委書記擔任“鏈長”推進組鏈成群、“院長”攻堅核心技術、“校長”精準培養(yǎng)工匠、“行長”供足金融活水，按照“高大上、鏈群配”要求實施“雙招雙引”戰(zhàn)略性先導工程，累計落地半導體項目33個，總投資近600億元，2022年成功入選浙江省“萬畝千億”新產業(yè)培育平臺，構建形成“鏈主牽引—項目支撐—企業(yè)組鏈—產業(yè)集群”的發(fā)展態(tài)勢，構筑“遷不走”的產業(yè)生態(tài)。
麗水特色半導體產業(yè)鏈“Smart IDM”生態(tài)圈初步成型，芯片材料（晶睿電子、中欣晶圓、同創(chuàng)特材、創(chuàng)欣新材料、正帆特氣）、設計（麗雋功率半導體、芯微半導體）、設備（聯(lián)芯半導體、睿昇半導體、麗暉智能）、制造（旺榮半導體、廣芯微電子、芯微泰克）、封裝測試（意芯半導體、頂米科技），基本形成“一園、一鏈、兩基地”的發(fā)展格局，即半導體產業(yè)園、以硅基材料為基礎的功率器件特色半導體全產業(yè)鏈、全國外延片主要研發(fā)生產基地和世界級超高純鉭材料生產基地。
道阻且長，行則將至；行而不輟，未來可期。從打造“Smart IDM”模式到招引行業(yè)領軍企業(yè)、百億級標志性項目，麗水經開區(qū)走出了一條另辟蹊徑的“萬畝千億”騰飛之路。談到未來，麗水經開區(qū)將以十年為期，到2030年特色半導體產業(yè)平臺實現(xiàn)千億產值。
逐夢“芯”征程 奮進向未來
九萬里風鵬正舉，“芯”征程未來可期。麗水在短短四年時間里強力推進特色半導體“萬畝千億”新產業(yè)平臺建設。一個個優(yōu)質項目的落地，一批批創(chuàng)新成果的涌現(xiàn)，促成了半導體產業(yè)在麗水“從無到有”“從有到優(yōu)”“從優(yōu)到精”，未來如何進一步實現(xiàn)“從精到強”的轉變，是留待麗水解答的重要命題。新的發(fā)展時期，對麗水經開區(qū)的考驗仍在繼續(xù)。
——麗水半導體產業(yè)可持續(xù)發(fā)展之路如何走？
在褚君浩院士看來，麗水的半導體產業(yè)是否可持續(xù)，在未來能否具有競爭力，關鍵在于集聚更多的前沿科技和高端人才資源。
首先，要持續(xù)加強“政產學研用金”的有效聯(lián)動和深度融合。充分發(fā)揮政府的引導作用，實現(xiàn)資源整合和優(yōu)化配置，深入推進科技成果轉化，形成“1+1＞2”的合力。通過政府優(yōu)環(huán)境、企業(yè)主體強創(chuàng)新、學科人才激活力、科技研發(fā)出成果、成果轉化增效益、金融配套強保障。這是麗水半導體產業(yè)發(fā)展不斷注入新動能，實現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展的必然選擇。
其次，要持續(xù)關注半導體產業(yè)需求和供給。從需求層面來看，與應用端建立密切的聯(lián)系和聯(lián)動，開辟更多新的應用場景，比如新能源、低碳技術、交通汽車電子、人工智能、智慧城市的建設。從供給層面來看，半導體產業(yè)可持續(xù)發(fā)展的核心是技術水平，尤其是關鍵核心技術的攻克，要推動在國際國內都具有較強競爭性的關鍵核心技術創(chuàng)新，積極布局第三代半導體。
最后，還要進一步“招大引強”，引進更多的鏈主企業(yè)、龍頭企業(yè)，進而帶動整個麗水半導體產業(yè)加快發(fā)展。同時，進一步圍繞當前產業(yè)鏈，做強塊狀產業(yè)鏈，將垂直鏈與塊狀鏈高度融合形成強大的產業(yè)集群。
——麗水新的考驗是什么？如何突破成長的煩惱？
“以產業(yè)定位科技、以科技索引人才、以人才支撐產業(yè)”。這是麗水經開區(qū)培育特色半導體產業(yè)生態(tài)的“金鑰匙”。四年來，麗水半導體得到極大發(fā)展，科技和人才集聚度較以往有了很大提升，但差距仍然不小。這是當前麗水半導體產業(yè)縱深發(fā)展出現(xiàn)瓶頸的最核心問題。麗水半導體產業(yè)要想脫穎而出，需要提升自身研發(fā)實力、布局前沿技術，重點攻克核心“卡脖子”技術，做出在國際國內一流的技術創(chuàng)新。
劉志偉表示，麗水經開區(qū)正在強力推進創(chuàng)新深化，構筑跨越式高質量發(fā)展的強大動力引擎，全力培育支撐產業(yè)可持續(xù)發(fā)展的科技要素、構筑科創(chuàng)體系，以“萬畝千億”新產業(yè)平臺打造為契機，大力培育半導體產業(yè)科創(chuàng)平臺，為人才發(fā)展提供更多新平臺、新空間。
浙西南科創(chuàng)中心產業(yè)園效果圖
首先，堅持“引產業(yè)必須引研究院”。投資30億元建設高能科創(chuàng)平臺浙西南科創(chuàng)中心產業(yè)園，引進了中國科學院院士褚君浩院士工作站、復旦大學光電研究院玨芯實驗室、北京大學微電子系芯片設計研發(fā)、杭州電子科技大學麗水研究院等科研院所，持續(xù)對接中科大、西安電子科技大學等一流科研機構，打造成為集聚引進戰(zhàn)略科技力量的強磁場。
其次，攥指成拳引育高水平研發(fā)機構，通過“問海借力”舉措，把域外科創(chuàng)飛地打造成為集聚引用戰(zhàn)略科技力量的橋頭堡，積極推進上海、杭州、深圳等地科創(chuàng)飛地平臺建設，以期與“萬畝千億”新產業(yè)平臺形成分工協(xié)作和優(yōu)勢互補的創(chuàng)新格局。
此外，連續(xù)三年實施“才聚浙麗、科創(chuàng)未來”行動，切實保障高層次人才“來麗留麗，成為新麗水人”，累計投資上百億，引進華東師范大學附屬麗水學校、北京師范大學麗水實驗學校，建設麗水市第一人民醫(yī)院、麗水國際會展中心等，確保來到經開區(qū)的高管、科技人員以及產業(yè)工人的子女享受到長三角以及國內一流的教育、醫(yī)療等公共服務，為人才創(chuàng)業(yè)創(chuàng)新提供良好的公共服務保障，通過創(chuàng)建省級產城融合示范區(qū)和現(xiàn)代服務業(yè)高端制造業(yè)融合發(fā)展區(qū)等載體，助力特色半導體“萬畝千億”產業(yè)平臺跨越發(fā)展。
借力揚帆天地闊，擊鼓催征正當時。四年多來，麗水經開區(qū)用“芯”交出了一張又一張亮眼的成績單，也為山區(qū)縣發(fā)展高新技術產業(yè)和未來產業(yè)探索出了一條特色之路。從“摸著石頭過河”到“走出一條新路”，再到“迎著朝霞追趕”，麗水“萬畝千億”的夢想正在一步步照進現(xiàn)實。
